Vacuum Measurement
??? ?? ??? ?? ??? ??? ? ????
????? UHV/XHV? ??? ????? ??? ??? ? ??? ?? ??? ? ??? ????? ???? ??? ? ?? ?? ?? ? ??? ?????. ??? ???(TC), BA(Bayard Alpert), Pirani, ?? ?????(IMG) ? ? ????(HFIG) ???? ?????. ??? ??? ????? ???? ? ???? ???? ?? ???? ?? 12?? ??? ??? ? ????. ???? ????? Profibus, ??? ? RS-232/485? ??? ?? ?? ?????? ?? ?????(?? ? ?? ?????? ?? ??). ??? ??? ????(HGC-536) ??? ????.
